第153章 种子计划（1/2）

第190章 种子计划

2020年11月7日，苏州。

处理完轻甲事件后，苏辰按照原计划来到了苏州实验室。

实验室位於苏州工业园区一栋不起眼的写字楼里，三层全包，500多平米。这是陈国栋在苏州搭建的drie验证平台，也是沈志明和四名前中微工程师的工作基地。

苏辰到的时候，陈国栋和沈志明已经在等他了。

“数据呢？“

苏辰开门见山。

沈志明递过来一叠列印出来的实验数据。这位四十岁出头的前中微工程师，做事风格极其严谨，所有数据都標註了时间、温度、气压等环境参数。

“这是上个月的等离子体密度测试数据。“

苏辰翻开数据，目光扫过那些密密麻麻的数字。

sf?刻蚀速率4.2微米每分钟。侧壁角度89.3度。等离子体密度达標。

这些数据他之前就知道了。但沈志明说的“数据异常“在哪？

“异常数据在第三组和第七组。“

沈志明翻到了標註红色的两页。

“在第三组实验中，我们发现等离子体密度在腔体中心区域出现了一个异常的峰值——比理论预测值高了18%。我们一开始以为是测量误差，但重复了三次实验后，这个峰值依然存在。“

苏辰盯著那组数据，眉头微微皱起。

“第七组呢？“

“第七组更有意思。“沈志明的眼中闪过一丝兴奋，“我们在调整射频功率的时候，发现在某个特定的功率窗口——大约是標准功率的78%到82%之间——sf?的分解效率突然跳了一个台阶。刻蚀速率从4.2飆升到了5.1微米每分钟，而侧壁角度反而改善到了89.7度。“

“5.1微米每分钟？“

苏辰的眼睛猛地亮了。

这个数字意味著什么——如果能稳定復现，那么drie的刻蚀效率將比当前的最优水平提升21%，同时精度还更高。

“能稳定復现吗？“

“目前还不能。“沈志明老实地回答，“我们只在第七组的特定条件下观察到了这个现象，后续重复实验中有时能復现有时不能。我怀疑和腔体內的气流场分布有关——在那个特定的功率窗口下，可能形成了某种有利於sf?分解的等离子体涡流结构。“

“如果是气流场的问题……“苏辰沉思了片刻，然后走到白板前拿起了马克笔。

“那就不只是功率的问题，而是腔体几何结构的问题。“

他在白板上画了一个腔体的截面图：

“我们现在的腔体是標准的圆柱形。如果在腔体侧壁增加一组导流槽——这里、这里、还有这里——“

他快速画出了三个位置。

“通过导流槽改变气流场的分布，人为地在腔体中心区域製造一个稳定的等离子体涡流——理论上就能让第七组的异常数据变成常態。“

沈志明和陈国栋同时凑了过来。

“苏总，你是说——修改腔体几何结构来匹配最优气流场？“

“对。“苏辰放下马克笔，“而且这个思路还有一个额外的好处——如果我们能通过导流槽控制气流场，那腔体放大的问题也能同时解决。“

陈国栋猛地抬头。

腔体放大——这是他们目前面临的最大难题之一。

实验室级別的小腔体已经验证成功了，但要做到工业级別的大腔体，最大的障碍就是气流场的均匀性问题。腔体越大，气流场越难控制，刻蚀均匀性就越差。

但如果导流槽能解决气流场控制的问题——

“那腔体放大就不再是单纯的等比放大了。“陈国栋兴奋地说，“而是通过导流槽的设计来主动控制气流场——这样就算腔体变大，只要导流槽的位置和角度计算正確，就能保持气流场的均匀性！“

“没错。“苏辰点头，“所以接下来的任务是——沈工负责把第七组的条件参数整理出来，做一个完整的气流场仿真。国栋负责设计导流槽的几何方案。我回深圳后会在系统里做大量的仿真验证。“

他看了看两人：

“给我两周时间。两周后我会拿出一个完整的腔体放大+导流槽的设计方案。“

“好！“

两人齐声回答，眼中满是干劲。

……

討论完drie的技术问题后，已经是下午三点了。

苏辰、陈国栋和沈志明在实验室附近的一家麵馆吃了碗面。

吃麵的时候，陈国栋突然说了一句：

“苏总，上次你提到的mems传感器教育推广的事情，我想到了一个人。“

苏辰夹面的筷子停了一下。

“谁？“

“清华大学微电子系的周志远教授。“

陈国栋放下筷子，认真地说：

“周教授是国內mems传感器领域的先驱之一，80年代就开始做mems的研究了。他现在虽然已经退休了，但在学术界的影响力非常大。全国至少有二十所大学的微电子专业教材里，有他编写或者参与编写的內容。“

“关键是——“陈国栋加重了语气，“周教授一直在呼吁国內高校加强mems实践教学。他觉得目前高校的mems教育太偏理论，学生毕业后根本不会用mems——因为学校里没有实验设备，也没有配套的开发平台。“

苏辰放下了筷子。

他想到了一件事。

目前国內高校的嵌入式系统教学，用的几乎清一色是国外的mcu开发板——arm的、ti的、st的。学生从大学开始就用国外的晶片和开发工具，毕业后自然优先选择国外的方案。

这就像一棵树的根——根扎在哪里，树就往哪里长。

而mems传感器领域更是如此。国內几乎没有自己的mems开发平台。高校实验室里用的都是博世、意法半导体、德州仪器的传感器模组。

如果鸿远飞鸟能做一套自己的mems传感器开发板，以极低的价格——甚至免费——提供给高校实验室呢？

学生从学校就开始用鸿远飞鸟的mems开发板。

他们熟悉鸿远飞鸟的传感器接口、开发环境、技术文档。

毕业后进入企业，开发电子產品时自然优先採用鸿远飞鸟的方案。

三年后、五年后——一整代工程师都是在鸿远飞鸟的生態里成长起来的。

到那时，鸿远飞鸟的mems传感器就不再只是一个產品——而是一个生態。

一个从教室到工厂、从学生到工程师的完整生態。

苏辰的眼中渐渐亮起了光。

“国栋，帮我约一下周志远教授。就说鸿远飞鸟想做一个mems传感器教育推广计划，希望听听他的意见。“

“好，我今天就联繫他。“

“另外——“苏辰想了想，“让博微传感那边开始设计一款mems传感器开发板。不需要多复杂，把我们的加速度计、陀螺仪、气压计集成在一块pcb上，配上一套简单的开发环境和技术文档就行。成本控制在50块以內。“

“50块？那基本上是成本价了——“

“就是成本价。“苏辰笑了笑，“甚至可以免费送给高校。“

陈国栋愣了一下，然后明白了。

“你是要种韭菜。“

苏辰被他的直白逗笑了。

“不是种韭菜。是种种子。“

他拿起筷子继续吃麵：

“种子现在不赚钱，但三年后会长成参天大树。等那些用我们开发板学习的学生走出校园，进入华为、比亚迪、中航工业的时候——他们设计传感器方案时，第一个想到的就是鸿远飞鸟。“

“到那时，我们的mems传感器就不需要推销了。因为整个生態都是围绕我们建立的。“

陈国栋深深吸了一口气。

他想起了当年51单片机是怎么统治全球嵌入式教育的——不是因为51单片机的性能最好，而是因为它最早被写进了教材。

一旦进入教材，就进入了一代人的肌肉记忆。