第323章 臥槽老板，这你也会？（2/2）

赵阳把马克笔放下，“应该是曝光剂量补偿文件的参数设置有问题。你们查一下镜头热效应补偿係数，大概率是默认值没有改。边缘剂量偏低是因为镜头组在长时间连续曝光下会產生轻微的热膨胀，补偿係数不对就会导致边缘对焦偏移。”

那个年纪稍大的工程师盯著白板上的参数值看了好一会儿，然后转头看了梁孟松一眼。梁孟松朝他点了点头，几个人立刻散开去重新跑参数了。

接下来三天，赵阳几乎都待在工厂里。光刻机的问题解决之后，他又陆续帮產线调了刻蚀均匀性的参数波动、cmp的终点检测偏差、离子注入的角度误差。

每一个问题他都是现场看数据、现场给方案，没有哪一次是坐下来慢慢推敲之后再回来改的。工程师们一开始还觉得这位学术明星可能只是在宏观层面给点建议，但几次调试下来，所有人都意识到他不是在建议，他是在直接告诉他们问题在哪里、怎么改、改了之后会怎么样。

“这个离子注入的角度为什么设七度？改成三度试一下。”

赵阳在离子注入机前面站了两分钟，看了一遍工艺参数表格，然后转头跟旁边的工艺工程师说。

“三度？那个注入角度设置常规不是都要求七度以上才能避免沟道效应吗？”工艺工程师有些迟疑。

“你这里的晶向是偏转过的，七度的余量太大了，反而会造成侧壁掺杂不均匀。试三度，应该没问题。”

工艺工程师试了一下，出来的测试数据跟赵阳说的一致。他把列印出来的测试数据举在眼前看了两遍，从设备旁边转过来望著赵阳，想说什么又不知道该说什么。

梁孟松全程跟在赵阳旁边，面上没什么特別的表情。

但他心中的震惊根本无法用语言来形容，看向赵阳的眼神变得越来越古怪。

难道这就是世界上最顶尖天才的能力吗？

还有，赵阳之前真的没有接触过光刻机？还是说他乾脆就在阿斯麦尔实习过？

但他这么小，而且履歷那么清楚，根本就没有这个可能才是啊！

梁孟松百思不得其解，不过想到最后，梁孟松也没有继续想下去，这种事情想多了就是徒增烦恼。

解决完最后一个工艺参数的那天晚上，赵阳没有回昌城市区，就在工厂的休息室里靠在沙发上睡了几个小时。

第二天一大早，梁孟松拿著刚列印出来的首批成品测试报告找到他。报告上的良率数据写在最上面一行，后面跟著一串测试参数的对比表格。

“三十二纳米，良率九十二。”

梁孟松把报告放在赵阳面前的桌上，眼神复杂的看著赵阳。

“首批试產片的电性测试全部通过。从设备调试问题到现在，十天不到。我们花了不到十天，把良率从零做到了量產水平。”

说完，梁孟松还是忍不住多问了一句。

“老板，你以前是不是在阿斯麦上过班？”

“当然没有。”

赵阳一边回答梁孟松的话，一边隨手拿起报告开始翻看。