第323章 臥槽老板，这你也会？（1/2）

“机械对准和光学对准的误差分別多少？”

“机械对准的误差大概在一点二纳米左右，光学对准的误差波动比较大，有时候能到三点几。”

“环境振动和温控呢？”

“厂房的防震地基和洁净室的温控都是按最高標准做的，实测数据都在正常范围以內。问题不在环境，在设备本身。”

赵阳听完之后没有马上说话。他靠在座椅上想了一会儿。套刻精度的问题大概率不是单个参数的事，而是几个子系统之间的匹配没做好工件台的定位精度、光学对准系统的补偿算法、光刻胶的涂布均匀性，这些东西叠加在一起，单一调哪个都不管用。

光源均匀性的问题反而好解决一些，大概率是曝光剂量校准文件的参数设置不对，或者镜头组的热效应补偿没有做好。

旁边的梁孟松好奇的看著自己这个年轻的老板，他看过赵阳很多新闻，他跨专业的能力，梁孟松从来没有质疑过。

但他可从来没听说过，赵阳曾经研究过光刻机啊！

不过就刚刚自家老板问的那几个问题来看，还真是个內行！

这可不是能装出来的！

车子到了工厂门口，梁孟松领著赵阳直接进了洁净室。换上无尘服，戴上口罩和手套，穿过风淋室，里面的黄光区一排排设备亮著状態灯。

几个工程师正围在光刻机前面，有人趴在地上看工件台的导轨，有人坐在主控屏幕前反覆调参数。看到梁孟松带著赵阳进来，几个人都停下了手里的活。

赵阳没有跟他们寒暄。他走到光刻机的主控屏幕前，调出最近几次测试的全部参数记录，一行一行往下翻。看了一会儿他抬起头，问旁边那个正在调参数的年轻工程师：“你们校准的时候，光学对准和机械对准是分开做的还是联动的？”

“分开的。先做机械对准，再做光学对准。”

年轻工程师回答道。

“问题大概出在这里。”

赵阳指著屏幕上两条几乎重叠但存在微小相位差的曲线。

“机械对准和光学对准必须联动校准。如果先机械后光学，光学对准会把机械对准的残余误差放大，因为光学系统在扫描的时候会重新採样，这个时候机械对准留下的那一丁点偏差会被当成正常信號。”

几个工程师互相看了一眼。梁孟松站在旁边没说话，但眉头微微皱著。

“联动校准怎么做？我们试过几轮，两个系统同步跑的时候数据抖得厉害。”

一个年纪稍大的工程师迟疑著开口问道。

赵阳开始一段一段讲。从工件台的运动学模型讲到光学对准的採样频率，从补偿算法的时间延迟讲到传感器信號的处理方式。

他没有泛泛而谈，而是按照自己脑子里关於光刻机系统架构的经验，把每一步都分解得很具体。讲到后面他拉过一块白板，用马克笔在上面画了张流程图，標註了几个关键参数应该调整的数值。

“光源均匀性的问题不用调设备。”