第322章 晶片量產出问题了！（2/2）

赵阳沉默了片刻。他前世在晶片行业摸爬滚打了十几年，虽然不是专门搞光刻工艺的，但各种技术问题接触得多了，光是旁观就积累了不少经验。

“我去看看。明天上午飞昌城。”

赵阳说。

电话那头安静了大概两秒。梁孟松原本打这个电话的目的是想让赵阳尝试去挖几个阿斯麦的工程师，或者从台积电那边挖人。

这样做的话代价会很高，但总比设备停在那里强。他完全没想到赵阳会说“我去看看”。

不是，自家老板虽然是天才，但什么时候懂光刻机了？

梁孟松有些傻眼。

“老板，你……你过来看？”

梁孟松迟疑著问道。

“这些参数校准涉及到光学对准系统和工件台的精密调节，一般都是原厂工程师才有经验处理…………”

梁孟松话音还没落下就被赵阳打断了。

“我知道。明天上午到。”

赵阳没有多解释。梁孟松沉默了一会儿，说了声好。

掛了电话之后赵阳把写到一半的论文保存好，从衣架上拿了件外套，然后给王海发了条消息，让他订明天最早的航班。

第二天上午九点，赵阳的航班降落在昌城机场。出站口外面，除了梁孟松和工厂的两位副总之外，昌城市的几位领导也在。张副市长站在最前面，看到赵阳从出站口走出来，立刻笑著迎了上去。

“赵博士，欢迎回昌城！上次跟你聊过晶片工厂的事，我们全市上下都特別重视这个项目。这次听说你要亲自过来处理技术问题，我就想著一定要来迎接一下。”

张副市长握著赵阳的手，语气里带著几分期待。

赵阳跟他握了握手：“张市长客气了。”

几个人在出站口寒暄了几句。张副市长又提到上次討论过的优惠政策和配套宿舍的事，说市里已经在落实了，让赵阳放心。赵阳点了点头，说改天有空再细聊，然后就跟梁孟松上了车。

车子驶出机场，往工厂方向开。王海坐在副驾驶，赵阳和梁孟松坐在后排。

“具体说说。”

赵阳靠在座椅上，转头看著梁孟松。

“问题主要集中在两个地方。”

梁孟松打开手里的平板电脑，调出几张设备参数截图递给赵阳。

“第一个是套刻精度。我们目前能做到五点三纳米，二十八纳米节点要求三点五以內。第二个是光源均匀性。曝光场边缘的剂量比中心低大概一点八个百分点，导致边缘区域的线条宽度偏粗。”