第16章 研发进度（2/2）

此时的徐卫国正坐在显微镜前观察刚製作出来的掩模版，严纪慈並未打扰他，只是在一旁站著观看。

直到徐卫国从显微镜前站起来，跟一旁的同伴吩咐了几句，一转身，这才看到严纪慈。

“所长！您什么时候来的。”

严纪慈笑道：“我也刚来没多久。……你们这確实是凉快啊！我都不想走了。”

徐卫国笑了笑，他们这是恆温实验室，安装了大功率空调的，倒不是搞特殊，而是因为温度会影响设备精度，不得不装。

不过在这炎炎夏日，在空调房工作也確实是一种享受，大家都不大愿意出门。

“您找来是有什么事吗？”徐卫国。

严纪慈点点头：“我来就是想问你，光刻机研发什么时候能完成？……离十月一就剩不到三个月了，我想最好是能在那之前造出第一款集成电路，为国庆献礼。当然，如果来不及的话就当我没说，你们还是按你们的进度来。”

徐卫国道：“应该是来得及。其实吧，光刻机我们已经造出来了，问题是精度不及预期，现在我正在改进中。”

“精度问题……你有解决方案吗？”

“有。不瞒您，我脑子里有的是办法，奈何缺了太多设备，现在只能用笨办法慢慢摸索。”

这倒是大实话，比如光学系统精度，想提高离不开干涉仪辅助，但这东西还在研发，想用上不知要到哪年月了。

再比如掩模版的製作精度，没有电子束光刻，就很难製作精细图案。雷射直写倒是一个解决方案，但红宝石雷射器同样也刚开始研发。

“具体说说你的笨办法。”严纪慈饶有兴致的问道。他自己本身就是光学研究领域的专家，加上一直在关注徐卫国的研发进展，在光刻机上算是內行人。

徐卫国点点头，说道:“就比如这掩模版，我现在尝试用分步重复曝光的办法，也就是先製作大尺寸母版，再用光学微缩复製到掩模版上。试验结果还行，精度提高了不少。

再比如对准精度，手动对准精度有限，我自己设计了一套机械-光学混合对准系统，现在还没造出来，但估计也就这几天了。”

严纪慈：“听起来是很不错的解决办法。……呵，我本想帮你参谋参谋，提一些建议，现在看是不用了。”

徐卫国：“让您费心了。”

“嗐，我费什么心啊。技术上我也帮不上什么忙，都是瞎操心。”

严纪慈看著徐卫国，突然感嘆道：“都说隔行如隔山，科研上更是如此。我都好奇，你这脑子是怎么长得，怎么就什么都懂呢?”

徐卫国咧嘴笑道：“我是天才嘛，不能以常理度之。”

严纪慈哈哈笑了起来，道：“说的没错，不能以常理度之。……行了，你继续忙，我先回去了。”

“您慢走！”