第417章 光刻机项目启动（1/2）

2002年7月28日，济南，齐鲁微电子中心。

会议室里坐了二十几个人。

有穿著军便装的老专家，头髮全白了，胸前別著“长春光机所”的徽章。

有穿著西装的中年人，是上海微电子装备的总经理和总工程师。

有戴著厚眼镜的教授，是清华大学精密仪器系的。

还有几个年轻人，坐在后排，面前摆著笔记本电脑。

倪光南站在白板前，手里拿著一支马克笔。他清了清嗓子，会议室里安静了下来。

“今天这个会，是光刻机项目的启动会。在座的各位，有做光学的，有做机械的，有做控制的，有做软体的。我们这些人聚在一起，要做一件事——造一台中国人自己的光刻机。”

他转过身，在白板上写了几个字：90纳米，五年。

“目標:五年之內，做出90纳米工艺的光刻机原型机。能做样品，能跑通工艺，能验证技术路线，这是第一阶段。第二阶段，把原型机变成產品，变成生產线，变成產能。那可能需要另一个五年。但今天，我们先定第一个五年。”

他停了一下，看了一圈。

“任务分工是这样的。光学系统，由长春光机所牵头，包括光源、照明系统、投影物镜，这是光刻机的心臟，也是最难的部分。机械与控制系统，由上海微电子装备牵头，包括工件台、掩模台、对准系统、调平调焦系统，这是光刻机的骨架和肌肉。计算光刻软体，由清华大学牵头，包括光学邻近效应修正、光源掩模协同优化、计算光刻建模，这是光刻机的大脑。”

他翻了一页，是经费预算表。

“星火集团首期投入五个亿。光学系统两个亿，机械与控制系统两个亿，计算光刻软体一个亿。经费分三期拨付，每期对应阶段性成果。成果达標了，拨付下一期经费。不达標，暂停下一期经费拨付，进行整改。整改还不达標，换团队。”

会议室里安静了几秒。长春光机所的老专家开口了，声音不大，但很清楚。“倪总，五个亿，光学分两个亿。我干了四十年光学，没见过这么多钱。我代表光机所表態，这个任务，我们接了。五年，90纳米，做不出来，我这辈子不再碰光学。”

上海微电子装备的总经理接著说：“我们也接了。机械和控制，我们有基础。虽然跟asml差距很大，但不是零基础。五年，我们把工件台的定位精度做到10纳米以內。”

清华的教授推了推眼镜。“软体这块，我们团队有十几个人，一直在做计算光刻。经费够的话，我们可以扩到三十人。五年，足够做出一套可用的opc软体。”